CDG-500 电容薄膜真空计-崇理科技（苏州）有限公司

CDG-500 电容薄膜真空计 编号：Agilent CDG-500 电容薄膜真空计

Agilent CDG-500 系列温度补偿电容薄膜真空计可在高压区域内提供极高水平的准确度。可提供从 1000 Torr 至 1 Torr (1.3–1333 mbar) 的全量程测量。CDG-500 系列采用耐腐蚀的超纯氧化铝陶瓷隔膜，可提供超常的信号稳定性，并具有从大气环境中快速恢复、预热时间短和坚固性无与伦比的特点。广泛应用于薄膜和真空工艺、工业真空、数据存储和半导体制造等应用。

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详细内容 规格参数 产品包装

主要特点 / MAIN FEATURE

● 全量程为 1–1000 Torr (1.3–1333 mbar)，按钮调零，可选设定点控制易于集成

● 优异的长期信号稳定性和重现性

● 从大气压下恢复迅速，启动后迅速达到稳定状态，缩短了过程循环时间

● 采用耐腐蚀陶瓷传感器和屏蔽保护，确保了坚固耐用

● 极高水平的准确度（读数的 0.2%）

CDG-500真空计1.jpg

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准确度	0.2％
响应时间	30 ms
操作环境温度	+5 至 +50 °C
烘烤温度（max）	110 °C
模拟输出	0-10 VDC
电气连接	D-Sub，15 芯，公头
贮存环境温度	–40 至 +65 °C