CombiNEG 150-1000/2000 吸气剂复合型离子泵-崇理科技（苏州）有限公司

CombiNEG 150-1000/2000 吸气剂复合型离子泵 编号：Agilent CombiNEG 150-1000/2000 吸气剂复合型离子泵

Agilent CombiNEG 150-1000 和 150-2000 吸气剂复合型离子泵在 150 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D1000 或 D2000 非蒸散型吸气剂泵芯。三极离子泵或二极离子泵可为氩气和其他残留惰性气体提供较高抽速，而吸气剂泵可为可吸收气体提供较高抽速，因此具有同时处理大量惰性气体、氢气和其他可吸收气体的独特优势。内部防护罩可极大程度延长 NEG 的使用寿命。通用而紧凑的 CombiNEG 150-100/2000 吸气剂复合型离子泵适合要求较高的应用，此类应用中需要在超高和极高真空状态下达到超高抽速。

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详细内容 规格参数 产品包装

主要特点 / MAIN FEATURE

● 三极离子泵或二极离子泵抽气单元可快速抽除惰性气体，而吸气剂泵可快速抽除活性气体，二者结合可达到较高的组合抽速，缩短达到超高真空/极

　　高真空状态所需的时间

● 烧结吸气剂泵的设计紧凑，可提供比质量较差的压结末吸气剂泵更出色的解决方案，并消除粉末进入系统的风险

● 配备 ConFlat 6² 英寸非旋转型入口法兰以及用于吸气剂泵的额外 ConFlat 6² 英寸侧孔

● 可以选择不同方向的真空穿导件，实现更高灵活性

● 无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行

● 低漏电流可提供稳定的真空压力读数

● 低磁场可大幅减少系统干扰

● 在 >400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性

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加热器电压	100-120/200-240 V
加热器电源	480 W
单元类型	StarCell
工作寿命	80000 小时
抽气口法兰	6 英寸 CFF (NW 100)
启动压力（max）	≤ 5 x 10-2 mbar
烘烤温度（max）	350 °C
极限真空	< 1 x 10-11 mbar
真空高压接头类型	Fischer
重量（只有泵时）	43 kg 94 lbs