FRG-700/FRG-702 全量程皮拉尼反磁控真空计-崇理科技（苏州）有限公司

FRG-700/FRG-702 全量程皮拉尼反磁控真空计 编号：Agilent FRG-700/FRG-702 全量程皮拉尼反磁控真空计

Agilent FRG-700 真空计为全量程真空计，在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术，以测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压（5 x 10-9 至 1013 mbar）的工作压力和极限真空。带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。这种组合真空计的优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号，内含金属密封的真空密封通导件。该真空计可以在比 FRG-700（法兰处ｍａｘ 55 °C）更高的温度（法兰处ｍａｘ 150 °C）下工作。

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详细内容 规格参数 产品包装

主要特点 / MAIN FEATURE

● 在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术

● 测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压（5 x 10-9 mbar 至大气压）的过程和极限真空

● 带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性

● 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力，以及中高真空范围内的普通真空测量和控制

● 灯丝不易损坏

● 优异的启动性能

● 便于清洁和修复

● 使用成本低

● 高电压 LED 指示灯可快速提供可视化的状态指示

真空计7001.jpg

真空计7002.jpg

准确度	±30%
响应时间	<10 ms（当压力大于 10–6 mbar 时），≈ 1000 ms（当压力等于 10–8 mbar 时）
操作环境温度	+5 至 +55 °C
烘烤温度（max）	150 °C
模拟输出	0-10.5 VDC
测量范围	5 x 10–9 至 1000 mbar　　　　3.8 x 10–9 至 760 Torr
电器连接	FCC 68 设备连接器，8 芯，母头
贮存环境温度	–40 至 +65 °C