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  • PVD薄膜沉积系统

    PVD薄膜沉积系统

    Korvus, 磁控溅射,电子束蒸发,热阻蒸发,有机材料蒸发
  • 原子层沉积系统(ALD)

    原子层沉积系统(ALD)

  • PVD多腔室互联系统

    PVD多腔室互联系统

    多腔室真空互联
  • 分子束外延系统(MBE)

    分子束外延系统(MBE)

  • 扫描探针显微镜+分子束外延联合系统

    扫描探针显微镜+分子束外延联合系统

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