主要特点 / MAIN FEATURE:
● 新型潘式扫描探头,可扩展qPlus AFM功能,模块化设计,易于维护
● 可选光学通道,适于光学实验
● 多源MBE样品制备,可原位沉积
● 袖珍型进样室,快速传输样品
PVD薄膜沉积系统
原子层沉积系统(ALD)
PVD多腔室互联系统
分子束外延系统(MBE)
坩埚和蒸发舟
溅射靶材
蒸发材料
化合物镀膜材料
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