主要特点 / MAIN FEATURE
● 适用于各种科研和应用
● 灵活且多功能
● 可随时重新配置和升级腔室
● 可兼容磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发和有机材料蒸发等沉积源
● 可连接手套箱
● 设备可放置在实验室台面或者可移动框架上，节省实验室空间，也可快速轻松地移动
● 易于清洁、维护成本低
详细介绍 / Detailed Introduction
HEX系列薄膜沉积系统提供了多样的沉积源选项，包括磁控溅射、电子束蒸发、有机蒸发薄膜沉积和热阻蒸发等，可适用于您的各类研究和应用。您可以先购买基本型号，并根据需要升级到更高级别的组件以满足您的需求。这些升级是模块化的，安装简便，可减少系统停机时间和安装成本。
HEX系列包括台式HEX以及更大的HEX-L和HEX-XL系统。所有系统均配备涡轮分子泵，可实现在10-6到10-7 mbar范围内的真空。台式HEX支持高达100 mm 的样品尺寸，同时配备可同时容纳多个较小样品的多样品支架。该系统包含许多升级选项，包括300 l/s泵，可在较短时间内实现基准真空压力。
用户还可以选择更大的HEX-L或HEX-XL室，可容纳高达150 mm 和300 mm 的样品尺寸，或者多个较小样品。其他选项也可根据您的应用要求配置。
HEX系列为各种沉积方式提供了便利。这些沉积源可以根据最终用户的自由选择进行混合和匹配，并可以在HEX、HEX-L和HEX-XL型号之间进行切换。设计坚固、易于维护的Korvus沉积源是HEX系列PVD系统的理想配套产品。
这些溅射源设计用于直径为2英寸、3英寸和4英寸的靶材，配备了SmCo磁铁，并接受厚度在0.5至6 mm 的非磁性材料靶材，以及可匹配厚度为1 mm 的磁性材料靶材。
我们的高精度（亚单层）迷你电子束蒸发器非常适合具有可靠工艺控制的超薄膜沉积。可以使用棒状材料直接蒸发或将材料放置在坩埚中蒸发。
ORCA有机沉积源设计为在50到600℃之间运行，以便以精确控制蒸发敏感有机材料。
TES热蒸发源允许快速移除源以便补充蒸发材料。热舟和灯丝也可以轻松迅速地更换。TES源可作为每个法兰单一来源提供。也可选择安装热电偶来监测热舟温度。每个源可以配备手动或自动快门。多个蒸发源可以在一个系统中容纳。这些源也可以与其他技术一起使用，如溅射、电子束沉积和低温源。
