CombiNEG 40-400 吸气剂复合型离子泵-崇理科技（苏州）有限公司

CombiNEG 40-400 吸气剂复合型离子泵 编号：Agilent CombiNEG 40-400 吸气剂复合型离子泵

Agilent CombiNEG 40-400 吸气剂复合型离子泵在 40 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D400-2 非蒸散型吸气剂泵芯。吸气剂泵可为活性气体提供超高抽速（高达 400 L/s 氢气），而三极离子泵可为氩气和其他残留惰性气体提供较高抽速。经优化的磁场和真空烧制工艺进一步提高了性能，可极大程度减少低压下的气体逸出。内部防护罩可延长 NEG 的使用寿命。这是一款可处理大量惰性气体的泵，能够以极高抽速和极大容量处理甲烷、氩气和氦气。这款泵非常适合需要在超高和极高真空状态下达到极高抽速的高要求应用。

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详细内容 规格参数 产品包装

主要特点 / MAIN FEATURE

● 三极离子泵抽气单元可快速抽除惰性气体，而吸气剂泵可快速抽除活性气体，二者结合可达到较高的组合抽速，缩短达到超高真空/极高真空状态所

需的时间

● 烧结吸气剂泵的设计紧凑，可提供比质量较差的压结末吸气剂泵更出色的解决方案，并消除粉末进入系统的风险

● 配备 ConFlat 4.5 英寸非旋转型法兰以及用于吸气剂泵的额外 ConFlat 2.75 英寸法兰

● 可以选择不同方向的真空穿导件，实现极大灵活性

● 无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行

● 低漏电流可提供稳定的真空压力读数

● 低磁场可极大程度减少系统干扰

● 在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性

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加热器电压	100-120/200-240 V
加热器电源	250 W
单元类型	StarCell Diode 　SEM
工作寿命	80000 小时
抽气口法兰	9/2 英寸 CFF (NW 63)
启动压力（max）	≤ 5 x 10-2 mbar
烘烤温度（max）	350 °C
极限真空	< 1 x 10-11 mbar
真空高压接头类型	Fischer
重量（只有泵时）	17 kg 37 lbs