安捷伦微型 VacIon 泵(通常称为辅助离子泵)有二极离子泵和改进型二极离子泵两种配置,抽速为 0.4 L/s。此类小型离子泵具有重量轻、磁场极低的特点,烘烤温度可达 400 °C。自安捷伦(瓦里安)于 20 世纪 50 年代后期发明离子泵以来,安捷伦微型泵已广泛用于国防、航天、电信、科研和医疗器械等应用领域。它们通常可用于确保电子管在较高或超高真空压力下的使用寿命。
主要特点 / MAIN FEATURE
● 0.4 L/s 辅助泵通常用于在密封设备上保持超高真空状态
● 低漏电流可提供稳定的真空压力读数
● 可根据您的需求定制不同的真空高压接头、泵体几何形状和泵单元布局
● 低磁场可大幅减少系统干扰
● 在 > 400 °C 的条件下进行真空处理,并在真空下夹止,确保安装前的清洁度和真空密封性
● 可以根据您的具体需求添加特殊测试程序
● 泵磁体组件包装需要单独订购
单元类型
Diode
抽气口法兰
3/8 英寸
启动压力(max)
≤ 1 x 10–4 mbar
烘烤温度(max)
150 °C
极限真空
< 1 x 10-11 mbar
真空高压接头类型
微型
重量(只有泵时)
0.3 kg 0.66 lbs
PVD薄膜沉积系统
原子层沉积系统(ALD)
PVD多腔室互联系统
分子束外延系统(MBE)
扫描探针显微镜+分子束外延联合系统
坩埚和蒸发舟
溅射靶材
蒸发材料
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