主要特点 / MAIN FEATURE
● UHV腔室采用316L不锈钢整体加工而成，与传统焊接腔室相比具有如下优势：
1）避免焊接可能造成的泄漏；
2）在相同法兰个数的情况下，样品储存腔内表面积减小40%，更有利于系统的极限真空；
3）重量减20%，更利于携带
● 结构紧凑，占地面积小，总重量13kg
● 极限真空 10-11 Torr 量级
● 多种样品托抓手可供选择
● 可选择Z向运动或Z向+旋转，适用于不同应用
● 机械手可配置Wobble Stick 或 Transfer Arm
● 可选配置移动电源，为离子泵控制提供长达20天供电
● 可选配行李箱，用于远距离运输
