Agilent VacIon 2 L/s 离子泵提供有效和无振动的 UHV 抽送，可在设备的使用寿命内维护微波和射频管。这些 2 L/s 小型二极离子泵元件广泛应用于灵敏的紧凑型系统或需要低磁场的设备的应用。可对其进行定制，轻松实现系统集成。
主要特点 / MAIN FEATURE
● 2 L/s 辅助泵通常用于在密封设备上保持超高真空状态
● 改进的二极例子泵配置，提高了低压启动能力
● 低漏电流可提供稳定的真空压力读数
● 可根据您的需求定制不同的真空高压接头、泵体几何形状和泵单元布局
● 低磁场可大幅减少系统干扰
● 在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性
● 可以根据您的具体需求添加特殊测试程序
● 泵磁体组件包装需要单独订购
单元类型
Diode
工作寿命
8000小时
抽气口法兰
11/3 英寸 CFF (NW 35)
启动压力（max）
≤ 1 x 10-4 mbar
烘烤温度（max）
150 °C
极限真空
< 1 x 10-11 mbar
真空高压接头类型
Fischer
重量（只有泵时）
0.3 kg 0.66 lbs
PVD薄膜沉积系统
原子层沉积系统（ALD)
PVD多腔室互联系统
分子束外延系统（MBE)
扫描探针显微镜+分子束外延联合系统
坩埚和蒸发舟
溅射靶材
蒸发材料
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