主要特点 / MAIN FEATURE
● 超高真空兼容
● 安装3个独立的碱金属源
产品应用 / APPLICATIONS
● 适用于蒸发各种碱金属（Li , Na , K , Rb , Cs）
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35：DN40CF ⑤可选 M：手动
安装法兰
DN40CF（O.D. 2.75'' ）
腔内长度
120~400mm 可选
腔内直径
34mm
烘烤温度
200℃
源数量
3
挡板
可选手动挡板
电流值
每个至多10A
样品类型
Li，Na，K，Rb，Cs（适用于 SAES 源，A=active length 12mm）
净重
1.5kg
碱金属释放剂规格
Alkali metal
Content(mg)
Start of evaporation(AMP)*
A=12
Average
Standard Deviation
Cesium Cs
5.2
4.7
0.2
Potassium K
2.9
5.3
Sodium Na
1.7
6.0
Rubidium Rb
4.5
Lithium Li
0.8
7.3
备注：以上所有碱金属释放剂数据由SAES提供
PVD薄膜沉积系统
原子层沉积系统（ALD)
PVD多腔室互联系统
分子束外延系统（MBE)
扫描探针显微镜+分子束外延联合系统
坩埚和蒸发舟
溅射靶材
蒸发材料
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