我们的PVD多腔室互联系统为薄膜沉积工艺更具灵活性、成本效益和高效性提供了创新解决方案。HEX PVD系统的独特之处在于其多功能性，凭借高度模块化设计满足制造商和研究人员在薄膜沉积应用中对定制化与灵活性的核心需求。
利用HEX PVD多腔体互联系统，您可以：
· 开发不同材料类别的多层结构；
· 将薄膜沉积过程的各个阶段分隔到不同的腔室中，避免交叉污染及干扰；
· 通过增加更多的沉积腔室、源和工具来扩展PVD设备的产能；
· 保障您具有前瞻性的研究工作；
· 由于HEX-L系统高度模块化，您可以从基础型号开始，根据需要进行升级。利用这种方法可以消除不必要的停机时间和安装成本。我们的系统适用于各种研究和制造目的。