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中温蒸发源 价格:

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主要特点  / MAIN FEATURE


    ● 超高真空兼容

    ● 优异的温度和束流稳定性

    ● 独立式的水冷结构,源与水冷可单独拆卸

    ● 多样的灯丝设计,可满足不同升温需求

    ● 坩埚容积可达155cc

 

产品应用  / APPLICATIONS


    ● MBE,表面科学,薄膜生长,样品制备以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域

 

型号注解  / PART NUMBER COMPOSITION



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②可选 100:DN100CF, 63:DN63CF, 35:DN40CF

④M: 400~1500℃

⑥DN40CF、DN63CF可选 P: 气动, M: 手动    ⑧可选 K: type K, C: type C


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安装法兰

DN40CF (O.D.2.75''), DN63CF (O.D. 4.5'' ),DN100CF (O.D. 6.0'' )

腔内长度

180~500mm可选

腔内直径

36.5mm, 61mm, 96mm

工作温度

450~1400℃

除气温度

≤1450℃

加热方式

钽丝加热

温度稳定性

±0.1℃

温度测量

K型热偶或C型热偶

烘烤温度

200℃

源数量

1

坩埚材料

石英, 氧化铝, 热解氮化硼, 可定制其他材料

坩埚容积

DN40CF:5cc,7cc, 10cc

DN63CF:25cc,40cc,60cc

DN100CF:155cc

冷却方式

一体式水冷或独立式水冷壁

挡板

DN40CF和DN63CF含内置挡板,可选气动或手动


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