主要特点 / MAIN FEATURE
● 超高真空兼容
● 电子偏转270°，有效保证灯丝使用寿命， 且易于维护
● 适用于金属和电介质的高纯度蒸发
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学 ● 超薄膜层
● 多分子层 ● 掺杂
● 样品制备 ● 密接金属化
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
安装法兰
DN63CF
腔内长度
200-400mm
加速电压
4-6kV
电子束功率
max3kW
灯丝电流/功率
max15A@100W
灯丝参数
钨灯丝
水冷参数
5L/min（最大功率）
坩埚材质
钨坩埚（特殊需求可定制）
坩埚尺寸
2cc
磁铁
钐钴永磁体
扫描模式
无
PVD薄膜沉积系统
原子层沉积系统（ALD)
PVD多腔室互联系统
分子束外延系统（MBE)
扫描探针显微镜+分子束外延联合系统
坩埚和蒸发舟
溅射靶材
蒸发材料
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