主要特点 / MAIN FEATURE
● 7寸彩色触控屏
● 可至多6路同时监测/控制
● 曲线显示膜厚，生长速率及质量（MASS）
● 高稳定基准，高精度
● 测试数据一键保存
● 远程控制和诊断，支持固件升级
● 多层膜工艺流程控制，支持共沉积
产品应用 / APPLICATIONS
● 薄膜生长系统中对膜进行实时监测和生长过程的控制
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选：101; 200；300 ③路数可选：C2:双路 C4：四路 C6：六路
参数项
QCM101
QCM200
QCM300
路数
双路，四路，六路（可选）
参考频率稳定度
±1ppm
频率分辨率
0.02Hz
膜厚分辨率
0.1埃米
速率分辨率
0.01埃米/秒
0.01/埃米/秒
速率控制
/
支持
功能特点
单层镀膜
多层镀膜 共沉积
多层镀膜 共沉积 膜厚控制
传感器数量
2-6
继电器输出
16
数字输出
无
挡板控制
模拟输出
输入电压
90~240VAC 50Hz/60Hz
尺寸
300 x 133 x 275mm（3U，19英寸机柜）
PVD薄膜沉积系统
原子层沉积系统（ALD)
PVD多腔室互联系统
分子束外延系统（MBE)
扫描探针显微镜+分子束外延联合系统
坩埚和蒸发舟
溅射靶材
蒸发材料
首页
电话
留言
回到顶部
