主要特点 / MAIN FEATURE
● 操作简便
● 7寸彩色触控屏
● U盘一键固件升级
● 模拟数字接口控制
● 高压输出≤5 kV，发射电流≤15 mA
● 高压互锁保护（支持至多三路互锁）
● 可选配模拟输入板卡，直接测量离子流（无需外接万用表）
产品应用 / APPLICATIONS
● 样品表面清洁
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
③ 无： 无模拟输入板卡， A :选配模拟输入板卡
能量电压
0-5000 V(1 V step)
发射电流
0-15m A (1 mA step)
灯丝电流
0-5.5A
数字量输入
3 路输入(其中1路为互锁)
数字量输出
4 路输出（继电器）
模拟量输入（选配）
4路输入，其中一路为微安计，另外三路支持±10V电压模拟信号
尺寸
442 × 132 × 430 mm
净重
5 kg
PVD薄膜沉积系统
原子层沉积系统（ALD)
PVD多腔室互联系统
分子束外延系统（MBE)
扫描探针显微镜+分子束外延联合系统
坩埚和蒸发舟
溅射靶材
蒸发材料
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