主要特点 / MAIN FEATURE
● 轻巧设计， 节约空间
● 可控制真空机械泵、 分子泵、 ACTIVE真空规以及电磁阀
● 具有真空系统互锁功能
● 可一键抽气和放气，方便快捷
产品应用 / APPLICATIONS
● 用于真空系统的真空泵及真空规控制
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
电学参数
供电电压
90V～240V AC
频率
50~60Hz
功率（max）
300W
保险丝规格
250V 2A
数字输入
4路（24V电平）
数字输出
阀控制
数量
4个
控制电压
24V
接口
3.81mm接线端子
前级泵控制
1个
DB15
分子泵控制
输出功率（max）
250W
真空规控制
3路
RJ45
机械尺寸
尺寸
宽：106.28mm高：128.70mm长：275.50mm
重量
1.5千克
PVD薄膜沉积系统
原子层沉积系统（ALD)
PVD多腔室互联系统
分子束外延系统（MBE)
扫描探针显微镜+分子束外延联合系统
坩埚和蒸发舟
溅射靶材
蒸发材料
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